吸附反转装置

摘要

提供一种可防止吸附板反转旋动时连接于吸附板之空气配管扭曲或纠缠在一起且维持旋转轴之强度之吸附反转装置。本发明之吸附反转装置C，系使吸附有脆性材料基板W之吸附板18绕旋转轴15旋转以使该脆性材料基板W表面背面反转，其特征在于，具有：侧框14，将旋转轴15支承成可旋转；中空构件50，以围绕旋转轴15之一部分之方式固定在侧框14，且在一端部具有圆形开口部50a；圆盘状突缘51，将该中空构件50之圆形开口部50a加以密封，且与旋转轴15成为一体地旋转；第1埠52，在突缘51开口，透过配管53与吸附板18连通；以及第2埠55，在中空构件50开口，透过配管56连通于空气吸引装置。