| 发明名称 |
半导体装置及其制造方法;SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME |
| 摘要 |
本发明提供一种半导体装置,包括一基板以及一闸极结构形成于基板之上。上述半导体装置更包括一绝缘特征结构形成于基板之中。绝缘特征结构包括一绝缘层以及一盖层位于绝缘层之上。 |
| 申请公布号 |
TW201436236 |
申请公布日期 |
2014.09.16 |
| 申请号 |
TW103102587 |
申请日期 |
2014.01.24 |
| 申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
黄玉莲;李东颖;林佩仪;范纯祥;余胜文;陈能国;蔡明桓 |
| 分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L21/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>洪澄文</name><name>颜锦顺</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
