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本发明揭示一种用于藉由控制围绕一微影装置之一图案化器件之气流来缩减叠对误差的系统。该微影装置包括一照明系统,该照明系统经组态以调节一辐射光束。该微影装置进一步包括一可移动载台,该可移动载台包含一支撑结构,该支撑结构可经组态以支撑一图案化器件。该图案化器件可经组态以在该辐射光束之横截面中向该辐射光束赋予一图案以形成一经图案化辐射光束。另外,该微影装置包含一板,该板定位于该可移动载台与投影系统之间。该板包括一开口,该开口包含一第一侧壁及一第二侧壁。该板可经组态以在该可移动载台与该投影系统之间的一区中提供一气体流型,该气体流型实质上垂直于该照明系统之一光轴。 |
