镀敷造形物的形成方法;METHOD OF FORMING PLATED PRODUCT

摘要

本发明系关于提供一种底部(与基板表面接触之侧)的宽比与底部对向之顶部的宽更大,与基板可稳定密着之镀敷造形物的形成方法。于基板上形成复合膜,该复合膜系由上层膜所成,该上层膜系由下层膜与正型光阻组成物所成,使对于曝光后之下层膜的硷显像液之溶解速度RL,比对于曝光后之上层膜的硷显像液之溶解速度RU更大。溶解速度RL对于溶解速度RU之比RL/RU比1大,且100以下时为佳。