用于确定遮罩图案的方法、记录媒体及资讯处理装置;METHOD FOR DETERMINING MASK PATTERN, RECORDING MEDIUM, AND INFORMATION PROCESSING APPARATUS

摘要

一种用于确定遮罩图案的方法、记录媒体及资讯处理装置。藉由使用资讯处理装置来确定多个遮罩的图案的方法,包括:获取关于包含多个图案元素的图案的资料;将所获取的多个图案元素分配到遮罩中,将所获取的多个图案元素分解为所述遮罩的图案,并且基于遮罩的数量、每个遮罩中的多个图案元素之间的距离以及连接每个遮罩中的多个图案元素的线的角度来计算用于评价指数的评价値。在所述方法中,基于所计算出的评价値来确定每个遮罩的图案。