离子感测装置及其制作方法;ION SENSITIVE APPARATUS AND METHOD FOR FABRCATING THE SAME

摘要

本发明提供一种离子感测装置，至少包含一基板、一第一电极、一第二电极、一感测膜与一封装材料。其中，第一电极设置于基板上并具有一第一体部以及与第一体部电性连接之复数个第一指部，而第二电极也设置于基板上并具有一第二体部以及与第二体部电性连接之复数个第二指部，其中该复数个第一指部与该复数个第二指部相互平行且交替排列以形成一感测区。感测膜覆盖感测区，封装材料则设置于感测区周缘，用以封装感测区。在本发明中亦揭露了上述离子感测装置的制作方法。