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<p>Um ein Röntgenfluoreszenzanalysegerät mit einer Röntgenquelle (10) zur Bestrahlung einer Probe (15) mit Röntgenstrahlung (19), einem Röntgendetektor (17) zur Messung von der Probe (15) abgestrahlter Röntgenfluoreszenzstrahlung (16) und einer Kamera (25) zur Erzeugung einer optischen Kontrollabbildung (26) der bestrahlten Messstelle (29) einer Probe (15) über den schräg im Strahlengang der Röntgenquelle (10) angeordneten optischen Spiegel (20) zu schaffen, der einen Träger (21) mit einer an dem Träger (21) vorgesehenen Spiegelschicht (28) umfasst, bei dem naturgetreue Kontrollaufnahmen der zu analysierenden Probe, insbesondere der beprobten Oberflächenstelle, möglich sind, weist der optische Spiegel (20) erfindungsgemäß ein Durchtrittsfenster (23) für die Röntgenstrahlung (19) auf, welches aus einer Aussparung (23) im Träger (21) und einer die Aussparung (23) an einer Außenseite des Trägers (21) überdeckenden Folie (22) ausgebildet ist, welche die Spiegelschicht (28) bildet.</p> |
