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Kühlbare Trägerplatte (1) für Targets (2) in Vakuumzerstäubungsanlagen mit einer Anschlussfläche und mindestens einer Befestigungsmittelaufnahme (4) zum Anschluss der Trägerplatte (1) an ein dafür vorgesehenes Bauteil (5), mindestens einem Dichtmittel (8) zur Abdichtung der Anschlussfläche, mindestens einem Hohlraum zur Durchleitung eines Kühlmittels mit einem Kühlmitteleinlauf (11) und einem Kühlmittelauslauf (12), und einer Aufnahmefläche zur Aufnahme eines Targets (2), wobei der Hohlraum durch einen Kühlmittelkanal (6) oder ein Netz von Kühlmittelkanälen (6) gebildet ist, der bzw. das im Innern der Trägerplatte (2) verläuft, dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlmittelkanal (6) oder das Netz von Kühlmittelkanälen (6) in der Querrichtung der Trägerplatte (1) verlaufende, durch Bohren hergestellte Abschnitte und in der Längsrichtung der Trägerplatte (1) verlaufende, durch Fräsen hergestellte Abschnitte aufweist. |
