粒子束状态改变监测系统及其方法

摘要

本发明提供一种一或多道粒子束的状态改变监测系统，其包括复数个粒子感测器及一监测单元，其中一或多道粒子束撞击至一待写基板。该等粒子感测器感测自该基板反弹的该一或多道粒子束，以产生一或多个感测讯号。该监测单元根据该一或多个感测讯号估测该一或多道粒子束的状态变化。藉此一设置及监测方法，本发明系统可以监测多道粒子束，并达到粒子束位移准确度。

主权项

一种多道粒子束状态改变监测系统，其包括：多道粒子束，系撞击至一待写基板；复数个粒子感测器，系用于感测自该基板反弹的该多道粒子束，以产生多个感测讯号；及一监测单元，系根据该多个感测讯号以估测该多道粒子束的状态变化。