探针量测补偿方法

摘要

本发明是一种探针量测补偿方法，首先建立一探针针头的误差函数；控制该探针针头接触一待测物，记录其接触点座标，并计算各接触点的法线向量，由法线向量取得定位角；将定位角代入误差函数，以计算探针针头对应各接触点法线方向上的误差以作为补偿值；将所得补偿值与待测物的接触点座标进行相加；因此，将所得误差与待测物的接触点座标进行相加之后，即是已经排除探针针头本身的形状误差，而为更精确的待测物表面轮廓。

主权项

一种探针量测补偿方法，其包含以下步骤：建立一探针针头的圆轮廓误差函数及球面轮廓误差函数；控制该探针针头接触一待测物，记录其接触点座标，并计算各接触点的法线向量，由法线向量取得定位角；将定位角代入圆轮廓误差函数或球面轮廓误差函数，以计算探针针头对应各接触点法线方向上的误差，以作为补偿值；将所得补偿值与待测物的接触点座标进行相加；其中，建立该圆轮廓误差函数包含以下步骤：控制探针针头在相同的高度下，以其分隔线接触一环规的内表面，并以固定的间隔角度沿环规的内表面接触一圈，且记录所有接触点的座标；执行内插计算，以在相邻接触点之间计算出多个内插点，将所有的内插点与接触点相连，以取得分隔线轮廓；将分隔线轮廓与一标准圆进行比对，计算该分隔线的每个内插点、接触点与该标准圆在径向上的误差距离，该些内插点、接触点与误差距离即建构出圆轮廓误差函数；其中，建立该球面轮廓误差函数包含以下步骤：控制探针针头在一初始高度下，以其分隔线接触一标准球体的上半球面，并沿上半球面接触一圈，以记录探针针头于初始高度时的接触点的座标；执行数次控制探针针头往上垂直位移一段间隔，及水平移动至探针针头的下半部接触上半球面，其中于每一次探针针头环绕接触上半球面时，系记录每一个接触点座标；以及计算每一接触点至一标准球体球心的距离，再将所得距离减去标准球面的半径值而获得一误差值，所有接触点与误差值资料即建构出球面轮廓误差函数。