发明名称 Verpackungssubstrat für einen aktiven Chip und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 <p>Ein Verpackungssubstrat für einen aktiven Chip und ein Verfahren zur Herstellung desselben werden bereitgestellt. Das Verpackungssubstrat für einen aktiven Chip umfasst: eine Trägerplatte; mindestens einen oberen aktiven Chip, der in die Trägerplatte eingebettet ist und eine aktive Oberfläche aufweist, die zu einer unteren Oberfläche der Trägerplatte zeigt, wobei der obere aktive Chip ein aktiver Nacktchip ist; und mindestens ein unterer aktiver Chip, der in die Trägerplatte eingebettet ist und eine aktive Oberfläche aufweist, die zu einer oberen Oberfläche der Trägerplatte zeigt, wobei der untere aktive Chip ein aktiver Nacktchip ist. Bei dem erfindungsgemäßen Verpackungssubstrat für einen aktiven Chip und dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung des Substrats wird der aktive Chip nicht verpackt bevor er eingebettet und ausgedünnt ist, so dass eine Verpackungsstruktur verkleinert vorliegt und das Gewicht der Verpackungsstruktur verringert ist, wodurch das Herstellungsverfahren des Substrats vereinfacht und die Produktionseffizienz verbessert werden. Bei der vorliegenden Erfindung werden ferner mehrere aktive Nacktchips auf beiden Seiten des Substrats zur gleichen Zeit eingebettet, wodurch der Integrierungsgrad verbessert wird. Zwischenzeitlich wird ein erheblicher Freiraum und Raum auf beiden Seiten des Substrats bereitgestellt und ein mehrlagiges Verschalten kann kontinuierlich durchgeführt werden, wodurch die Qualität des Verfahrens und Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung verbessert werden.</p>
申请公布号 DE112011105892(T5) 申请公布日期 2014.09.11
申请号 DE201111105892T 申请日期 2011.11.29
申请人 INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OFSCIENCES 发明人 ZHANG, XIA;YU, ZHONGYAO
分类号 H01L25/00;H01L21/48 主分类号 H01L25/00
代理机构 代理人
主权项
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