光阻剥离剂组成物及使用其之剥离方法

摘要

本发明系提供一种含有下述式(1)所表示之醯胺系溶剂(A)与有机胺化合物(B)之光阻剥离剂组成物、及使用该光阻剥离剂组成物之光阻剥离方法，即使在光阻剂溶解的状态下，仍可得充分的剥离性能、可长时间使用的光阻剥离剂组成物及使用其之光阻剂剥离方法。;(式中，R1为碳数1至6之直链状或分支状或环状烷基，R2与R3分别独立为碳数1至3之直链状或分支状烷基，n为0至2之整数);(1)

主权项

一种光阻剥离剂组成物，其特征为含有下述式(1)所表示之醯胺系溶剂(A)与选自一级链烷醇胺、二级链烷醇胺、二级胺、三级链烷醇胺、及三级胺中至少一种之有机胺化合物(B)，其中，醯胺系溶剂(A)与有机胺化合物(B)之质量比为(A)/(B)=99/1~50/50，(式中，R1为碳数1至6之直链状或分支状或环状烷基，R2与R3分别独立为碳数1至3之直链状或分支状烷基，n为0至2之整数)。