System zum Simulieren einer Halbleitervorrichtung und zugehöriges Betriebsverfahren

摘要

Ein System (1) zum Simulieren einer Halbleitervorrichtung (2) umfasst ein Daten-Eingabemodul (100), das derart konfiguriert ist, dass es Strukturdaten der Halbleitervorrichtung (2), die einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich aufweist, empfängt, und ein Raum-Diskretisierungs-Erzeugungsmodul (200), das derart konfiguriert ist, dass es einen Raum der Halbleitervorrichtung (2) unter Verwendung der Strukturdaten durch eine Unterteilung des ersten Bereiches (10) in Maschen erster Art und eine Unterteilung des zweiten Bereiches (20) in Maschen zweiter Art unterteilt, die sich von den Maschen erster Art unterscheiden.