氧化锌烧结体锭及其制造方法

摘要

本发明之课题系提供一种氧化锌烧结体锭，其系在真空蒸镀成膜中抑制喷溅之现象的发生而安定地获得没有针孔缺陷之透明导电膜。;解决上述课题之手段系将圈饼状二次粒子之比率为50%以上的由氧化锌粉末或氧化锌与掺杂物的混合粉末所构成之造粒粉末进行加压成形，在常压下以温度800℃至1300℃使其烧结，再于压力1×10-3Pa以下的真空中以温度800℃至1300℃保持1分钟以上10分钟以下之时间，藉由进行还原处理，而得到具有六方晶系的结晶构造且使用CuKα射线之X射线绕射所得之(103)面、(110)面的积分强度分别为I(103)、I(110)时以I(103)/(I(103)+I(110))表示之1轴加压面的定向度为0.48以上的氧化锌烧结体锭。

主权项

一种氧化锌烧结体锭，其系含有具有六方晶系的结晶构造之氧化锌或含有掺杂物之氧化锌的烧结体而成者，当其使用CuKα射线之X射线绕射所得之(103)面、(110)面的积分强度分别为I(103)、I(110)时，以I(103)/(I(103)+I(110))表示之1轴加压面的定向度系0.48以上。