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<p>Ein Verfahren zum automatischen Anpassen von Lichtverhältnissen verbessert die Ergebnisse von Points-from-focus(PFF)-3D-Oberflächenprofilrekonstruktion. Mehrere Beleuchtungsstärken werden automatisch auf der Grundlage von Helligkeitskriterien festgestellt und ein Bildstapel wird bei jeder Beleuchtungsstärke aufgenommen. In einigen Ausführungsformen kann die Anzahl von Beleuchtungsstärken und ihre entsprechenden Beleuchtungseinstellungen auf der Grundlage von Testbelichtungsbildern bestimmt werden, die bei einer einzelnen Höhe eines globalen Fokus, die eine beste Höhe für einen gesamten Bereich von Interesse ist, anstatt der Höhe des besten Fokus nur für die dunkelsten oder die hellsten Bildpixel in einem Bereich von Interesse, erfasst werden. Die Ergebnisse von 3D-Rekonstruktion bei jeder gewählten Beleuchtungsstärke werden unter Verwendung einer Z-Höhe-Qualitätsmetrik kombiniert. In einer Ausführungsform wird der PFF-Datenpunkt-Z-Höhe-Wert, der einer X-Y-Position zuzuordnen ist, auf der Grundlage der Tatsache gewählt, dass dieser PFF-Datenpunkt den besten entsprechenden Z-Höhe-Qualitätsmetrikwert bei dieser X-Y-Position hat.</p> |
