真空量测单元

摘要

一种真空量测单元包含由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成之第一罩体(1)、由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成且紧邻该第一罩体配置之薄膜(2)以及由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成且位置相对于该薄膜(2)之第二罩体(4)。至少在第一罩体(1)地区形成透光窗口(33)，而此窗口(33)至少在薄膜(2)的区域，薄膜(2)的表面(31)系形成可以光学反射。光纤(37)系配置以馈送光进出薄膜(2)的表面(31)，透镜(35)系放置在光纤(37)和窗口(33)之间，用以光学连接到薄膜(2)的表面(31)，使得配置可以形成量测区，藉由检测Fabry-Perot干涉仪，可以判定薄膜(2)的歪曲程度。

主权项

一种真空量测单元，其包含：第一罩体(1)，其由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成；薄膜(2)，其由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成，而且被配置成紧邻该第一罩体，该薄膜大至为平面且具有周围边缘，该薄膜的周围边缘藉由第一边缘密封而与该第一罩体接合成，在该第一罩体和该薄膜之间产生参考真空腔(25)，该薄膜具有第一和第二相对表面，该薄膜的第一表面面对该第一罩体，而该第一罩体(1)具有面对该薄膜(2)之内表面(34)；第二罩体(4)，其由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成，而且位于该薄膜(2)之相对侧，该第二罩体(4)藉由第二边缘密封而与该薄膜的周围边缘接合，该第二罩体与该薄膜一起形成量测真空腔(26)，该罩体包含用以将真空量测单元连接到待测介质之埠(5)；该第一罩体、该第二罩体和该薄膜系沿着该薄膜的周围边缘紧密连接；而且至少在第一罩体(1)的中央区域，形成透光窗口(33)，而在此窗口(33)、至少在薄膜(2)的中央区域，薄膜(2)的表面系被形成为可作光学反射而形成一镜面(31)；及在相对且远离此窗口(33)的参考真空腔(25)的外部，光纤(37)被配置以馈送光进出薄膜(2)的表面，透镜(35)被放置在光纤(37)和窗口(33)之间，藉以和薄膜(2)的表面光学连接，使得此配置可以形成一用以藉由法不里-珀罗(Fabry-Perot)干涉仪之检测，而可以判定薄膜(2)的歪曲程度的量测区，且其中：透光窗口系由蓝宝石型的单独的插入件所形成，其系藉由密封物(32)真空气密地装配在第一罩体的开口中；薄膜的表面，在其中央区域系形成可以光学反射，但在与薄膜及第一罩体连结的周围区不形成光学反射；光纤的终端系远离自窗口。