Verfahren zur Herstellung elektrischer Anschlusselemente auf Nanosäulen

摘要

Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung mit einem Substrat (1) aus Halbleitermaterial und einer darauf aus einem Halbleitermaterial hergestellten Mehrzahl von Nanosäulen (2) mit elektrischen Anschlusselementen (9) aus einem Kontaktmaterial auf den dem Substrat (1) abgewandten Enden (3) der Nanosäulen (2), mit den Schritten: a) Erzeugen von Halbleiter-Nanosäulen (2) auf dem Substrat (1), b) Beschichten einer PFA- oder PET-Folie (5) mit einer Beschichtung, die eine Kontaktmaterial-Schicht (6) aufweist, c) Auflegen der PFA- oder PET-Folie (5) mit der mit der Kontaktmaterial-Schicht (6) beschichteten Seite auf die Enden (3) der Nanosäulen (2), d) Pressen der PFA- oder PET-Folie (5) mit einem vorgegebenen Druck gegen die Nanosäulen (2) derart, dass die Enden (3) der Nanosäulen (2) während des Pressens wenigstens die Kontaktmaterialschicht (6) durchstoßen und diejenigen Abschnitte wenigstens der Kontaktmaterialschicht (6), die in Kontakt mit den Enden (3) der Nanosäulen (2) stehen, in das Innere der PFA- oder PET-Folie gedrückt werden, und e) Entfernen der PFA- oder PET Folie (5) nach Beendigung des Pressvorgangs.