一种面型蒸镀源及其蒸镀方法与系统

摘要

一种面型蒸镀源及其蒸镀方法与系统，将至少一种蒸镀材料披覆于一蒸镀源基板之其中一面作为面型蒸镀源，该蒸镀材料分布之区域系为蒸镀材料汽化后可涵盖该欲蒸镀基材之区域内，以一加热装置装设于可加热蒸镀源基板之区域内，藉由该加热器对该面型蒸镀源提供热源，将面型蒸镀源由固态转化为气态，扩散到欲蒸镀基材表面，藉由使蒸汽以原子或分子的状态的层次控制蒸汽之手段在欲蒸镀基材表面成核、凝结及成核及成长的机制使其形成薄膜膜，可以得到以传统涂布及喷墨技术所无法得到之具均匀性、奈米尺度调控特性等具有特殊构造及功能性的薄膜。

主权项

一种面型蒸镀方法，包含：利用一面型蒸镀源对至少一欲蒸镀基材进行面型蒸镀，该面型蒸镀源包括一蒸镀源基板，该蒸镀源基板具有至少一表面，于该蒸镀源基板至少一表面上披覆蒸镀材料，该披覆蒸镀材料之蒸镀源基板包含平面、曲面、平滑面或为粗糙表面；以及对该面型蒸镀源加热，使该欲蒸镀材料蒸镀于该欲蒸镀基材表面，于该欲蒸镀基材表面形成蒸镀膜。