具有载体箔之电解铜箔、具有载体箔之电解铜箔的制造方法以及使用该具有载体箔之电解铜箔所获致之铜覆层积板

摘要

本发明系以供给：一种即使负荷了超过300℃的温度，也可容易地将载体箔剥离之可剥离式具有载体箔之电解铜箔为目的。为达成此目的，采用：在包括载体箔2/接合界面层3/耐热金属层5/电解铜箔层4之层构成之具有载体箔之电解铜箔中，使用GDS分析装置，从该具有载体箔之电解铜箔之电解铜箔层侧向载体箔侧测定该耐热金属成分之深度方向的轮廓时之常态峰值的半高宽为W1，测定将该具有载体箔之电解铜箔在300℃的大气气氛中加热120分后之深度方向轮廓时之同峰值之半高宽为W2时，满足([W2]-[W1])/[W1]≦0.3之关系为特征之具有载体箔之电解铜箔。

主权项

一种具有载体箔之电解铜箔，包括载体箔/接合界面层/耐热金属层/电解铜箔层之层构成，其特征在于：使用GDS分析装置，在常态下从该具有载体箔之电解铜箔之电解铜箔层侧向载体箔侧测定该耐热金属成分之深度方向的轮廓时之常态峰值的半高宽为W1，将该具有载体箔之电解铜箔在300℃的大气气氛中加热120分后，从电解铜箔层侧向载体箔侧，测定该耐热金属成份之深度方向轮廓时之同峰值之半高宽为W2时，满足([W2]-[W1])/[W1]≦0.3之关系。