制造矽晶铸锭之方法

摘要

本发明提供一种制造矽晶铸锭之方法，系利用多个单晶矽晶种以及多个成核促进颗粒，并且基于方向性凝固制程，来制造矽晶铸锭。特别地，相邻的单晶矽晶种之间存有第一间隙，且邻接模之内壁的单晶矽晶种与内壁之间存有第二间隙。多个成核促进颗粒系填入所有第一间隙以及第二间隙内。

主权项

一种制造一矽晶铸锭之方法，包含下列步骤：安装多个单晶矽晶种至一模内，其中相邻的单晶矽晶种之间存有一第一间隙，邻接该模之内壁的单晶矽晶种与该内壁之间存有一第二间隙；于该等第一间隙以及该等第二间隙内，填入多个成核促进颗粒；安装一矽原料至该模内，且放置在该多个单晶矽晶种以及该多个成核促进颗粒上；加热该模，直至该矽原料全部熔化成一矽熔汤；以及基于一方向性凝固制程冷却该模，造成该矽熔汤凝固，以形成包含该多个单晶矽晶种以及该多个成核促进颗粒之该矽晶铸锭。