同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局

摘要

同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局，涉及一种高频线圈，本实用新型通过在高频线圈(2)的拉制孔或化料孔(4)的外部设置七个或八个或九个或十个或十一个或十二个或十三个环绕的拉制孔(3)，形成一次能同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局，本实用新型具有结构简单，制造方便等特点，特别适合在多晶硅行业推广实施。

主权项

同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局，包括高频线圈(2)、进水管路(6)、出水管路(8)、连接座(7)和地线连接机构，其特征是：在高频线圈(2)的上部面中部设有向下凹陷面(9)，在高频线圈(2)的下部面中部设有向上的环形台阶(11)，在高频线圈(2)的外部环绕设置冷却介质通路(10)，所述冷却介质通路(10)的两端分别形成进水管路(6)和出水管路(8)，所述进水管路(6)和出水管路(8)外端分别设有连接座(7)，在进水管路(6)和出水管路(8)之间的高频线圈(2)上设有自高频线圈(2)外缘贯通至拉制孔或化料孔(4)的开口(5)，所述拉制孔或化料孔(4)设置在高频线圈(2)的中部，在拉制孔或化料孔(4)外部的高频线圈(2)上设置七个或八个或九个或十个或十一个或十二个或十三个环绕的拉制孔(3)，在高频线圈(2)的外部设有地线连接机构。