一种测试结构

摘要

本实用新型提供一种测试结构，所述测试结构包括第一和第二梳状金属结构，所述梳状金属结构包括金属梳柄、多个金属梳齿及多个二极管。第一梳状金属结构中二极管的阳极连接金属梳柄，阴极连接金属梳齿。第二梳状金属结构中二极管的阴极连接金属梳柄，阳极连接金属梳齿。金属梳齿通过连接金属实现串联连接。第一和第二梳状金属结构通过第三二极管连接，第三二极管的阳极连接第二梳状金属结构，阴极连接第一梳状金属结构；所述两个金属梳齿相互交叉设置。本实用新型的测试结构能兼顾绝对击穿电压和TDDB的测试以及金属连线断接的测试，复用一个测试结构，完成不同测试目的，同时节省测试结构占用的版图面积，提高晶圆的利用率。

主权项

一种测试结构，其特征在于，所述测试结构至少包括：第一梳状金属结构和第二梳状金属结构；所述第一梳状金属结构包括第一金属梳柄、多个第一金属梳齿及用于连接所述第一金属梳柄和所述多个第一金属梳齿的多个第一二极管，所述第一二极管的阳极连接于所述第一金属梳柄，阴极连接于所述第一金属梳齿，所述第一金属梳齿通过连接金属实现串联连接；所述第二梳状金属结构包括第二金属梳柄、多个第二金属梳齿及用于连接所述第二金属梳柄和所述多个第二金属梳齿的多个第二二极管，所述第二二极管的阴极连接于所述第二金属梳柄，阳极连接于所述第二金属梳齿，所述第二金属梳齿通过连接金属实现串联连接；所述第一梳状金属结构和所述第二梳状金属结构通过第三二极管实现连接，所述第三二极管的阳极连接于所述第二梳状金属结构，阴极连接于所述第一梳状金属结构；所述第一金属梳齿与所述第二金属梳齿相互交叉设置。