抛光镍-磷的方法

摘要

本发明涉及对基材的表面进行化学-机械抛光的方法，其包括使包含镍-磷的基材的表面与包含湿法二氧化硅、使镍-磷氧化的试剂和氨基多羧酸的化学-机械抛光组合物接触，其中所述抛光组合物具有1～5的pH，和磨除所述镍-磷的至少一部分以抛光所述基材。

主权项

对基材进行化学‑机械抛光的方法，该方法包括：(i)提供包含镍‑磷的基材，(ii)使所述基材与化学‑机械抛光组合物接触，该化学‑机械抛光组合物包含：(a)湿法二氧化硅，其中所述湿法二氧化硅具有20nm～125nm的平均粒度，(b)使镍‑磷氧化的试剂，和(c)氨基多羧酸，其中所述氨基多羧酸选自β‑丙氨酸二乙酸、甲基甘氨酸二乙酸、羟乙基乙二胺三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、N,N,‑二(羧甲基)丙氨酸、前述氨基多羧酸的氨基官能团的酸式盐、前述氨基多羧酸的羧酸盐、及它们的组合，其中所述抛光组合物具有1～5的pH值，和(iii)使所述抛光组合物相对于所述基材移动以磨除所述镍‑磷的至少一部分以抛光所述基材。