| 发明名称 | 电子器件绝缘层材料及电子器件 | ||
| 摘要 | 本发明的课题在于提供一种可于低温下形成绝缘层的电子器件绝缘层材料。用于解决课题的方法为一种电子器件绝缘层材料，其包含高分子化合物(A)和烷氧基钨(V)(B)，所述高分子化合物(A)包含具有环状醚结构的重复单元和式(1)所示的重复单元。<img file="DDA0000524537150000011.GIF" wi="684" he="644" />[式中，R<sup>5</sup>表示氢原子或甲基。R<sup>bb</sup>表示将高分子化合物的主链与侧链连结、且可以具有氟原子的连结部分。R表示能够借助酸而发生脱离的有机基团。R’表示氢原子、或可以具有氟原子的碳原子数l～20的一价有机基团。下角标b表示0或1的整数，下角标n表示1～5的整数。在具有多个R时，它们可以相同或不同。在具有多个R’时，它们可以相同或不同]。 | ||
| 申请公布号 | CN104040700A | 申请公布日期 | 2014.09.10 |
| 申请号 | CN201280063670.7 | 申请日期 | 2012.12.12 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 矢作公 |
| 分类号 | H01L21/312(2006.01)I;H01L21/283(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L23/532(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L51/05(2006.01)I;H01L51/30(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/22(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/312(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 蒋亭 |
| 主权项 | 一种电子器件绝缘层材料，其包含高分子化合物(A)和烷氧基钨(V)(B)，所述高分子化合物(A)包含具有环状醚结构的重复单元、和式(1)所示的重复单元，<img file="FDA0000524537120000011.GIF" wi="410" he="678" />式(1)中，R<sup>5</sup>表示氢原子或甲基，R<sup>bb</sup>表示将高分子化合物的主链与侧链连结、且可以具有氟原子的连结部分，R表示能够借助酸而发生脱离的有机基团，R’表示氢原子、或可以具有氟原子的碳原子数1～20的一价有机基团，下角标b表示0或1的整数，下角标n表示1～5的整数，在具有多个R时，它们可以相同或不同，在具有多个R’时，它们可以相同或不同。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||