一种部分解耦的平面三自由度并联精密定位平台

摘要

本发明公开了一种部分解耦的平面三自由度并联精密定位平台，包括动平台、定平台，在动平台与定平台之间安装三组结构相同的驱动支路，每组驱动支路包括依次按照第一移动副、第二移动副、旋转副联接形成的PPR驱动链；PPR驱动链，即第一移动副的导轨与定平台固接，第二移动副的导轨与第一移动副的滑块固接，旋转副的转动铰链一端联接第二移动副的滑块上，另一端固接动平台；运动输入部分解耦，X向（Y向）的运动输入不会引起Y向（X向）从动；本专利简便易行的技术手段，克服了现有并联机构运动耦合、运动学求解复杂、设计加工繁琐等缺点，可以满足精密定位平台高精度的要求，在精密加工、微电子制造等领域具有广阔的应用前景。

主权项

一种部分解耦的平面三自由度并联精密定位平台，包括动平台、定平台，在动平台与定平台之间安装三组结构相同的驱动支路，其特征在于：每组驱动支路包括依次按照第一移动副、第二移动副、旋转副联接形成的PPR驱动链；所述PPR驱动链，即第一移动副的导轨与定平台固接，第二移动副的导轨与第一移动副的滑块固接，旋转副的转动铰链一端联接在第二移动副的滑块上，另一端固接动平台；这三组结构相同的驱动支路分为，两组平行设置的Y向驱动支路和一组与Y向相垂直设置的X向驱动支路；即Y向驱动支路第一移动副的运动方向平行于Y轴，X向驱动支路第一移动副的运动方向垂直于Y轴。