| 摘要 |
Чувствительный элемент датчика c нагревателем, состоящий из кремниевого кристалла с мембраной, на которой сформированы нагреватели и термочувствительные элементы, а также элементы, снижающие потери тепла от нагревателя, отличающийся тем, что элементы, снижающие потери тепла, выполнены в виде канавок вокруг мембраны, причем глубину канавки h выбирают из следующего соотношения 0,9d≤h≤d, где d - толщина мембраны. |
