微机械式传感器元件及其制造方法和运行方法

摘要

本发明提出了一种微机械式传感器元件以及制造微机械式传感器元件的方法和运行微机械式传感器元件的方法，该微机械式传感器具有基底和悬挂在该基底上的第一振动质量，该第一振动质量能够通过垂直于主延伸平面作用的加速度而从第一静止位置偏转出来，其中，该微机械式传感器元件具有第二振动质量，该第二振动质量能够通过所述加速度而从第二静止位置偏转出来，其中，第一振动质量与第二振动质量被设置成垂直于主延伸平面至少部分地重叠。

主权项

一种微机械式传感器元件（1），其具有基底（2）和悬挂在该基底（2）上的第一振动质量（10），该第一振动质量（10）能够通过垂直于主延伸平面（100）作用的加速度从第一静止位置偏转出来，其特征在于，该微机械式传感器元件（1）具有第二振动质量（20），该第二振动质量（20）能够通过所述加速度而从第二静止位置偏转出来，其中，第一振动质量（10）与第二振动质量（20）被设置成垂直于主延伸平面（100）至少部分地重叠，其中，第一振动质量的第一转动惯量不同于第二振动质量的第二转动惯量，使得第一偏转和第二偏转反相地进行。