一种化学气相沉积炉预热装置

摘要

一种化学气相沉积炉预热装置。通过气流板180°增加气体流程，延长受热时间，同时增加横梁，扩大热辐射能力，达到有机气体充分、均匀预热的目的。在出口处增加扰动孔，扰动孔在同一圆周之上，同时其轴向与水平面存在一定夹角，当预热气体进入扰动孔后，受迫沿扰动孔轴向方向喷出，结合扰动壁的碰撞作用形成强烈的旋转气流，随着旋转气流的上升，在离心力的作用下，提前分解的有机气体由于聚合作用形成大分子，大分子在惯性力与离心力的双重作用下优先进入料柱底端，降低了轴向反混的几率，进而在预制体之中扩散、沉积，达到底部增密的作用，同时未分解的气体继续旋转上升，使顶部压力气体压力降低，最终达到整个碳盘料柱增密的目的。

主权项

一种化学气相沉积炉预热装置，包括盖板、底座、热电偶、基座和底板，其特征在于，还包括扰动面板和气流板；底座安放在基座的上表面；气流板逐层叠放在底座的上表面，并且各层之间180°交错；所述的气流板的层数为2～5层；扰动面板置于最顶层气流板的上表面；在扰动面板的上表面安放预制体；在扰动面板和气流板的中心有热电偶的过孔；在扰动面板的中心有圆形的凹槽，在该凹槽内环绕热电偶过孔，均布有扰动孔；所述扰动孔为斜孔，该扰动孔的中心线与扰动面板表面之间的夹角为70°～85°；所述扰动孔的倾斜方向均向扰动面板外圆周方向；在气流板的上表面中心有圆形凹面；在所述凹面上分布有多条相互平行的气流槽；在气流板的下表面有一圈轴向凸出的支撑台；所述气流板的气流槽是由在气流板凹面内凸出的条形凸台之间形成的，并且所述的凸台的上表面均略低于气流板的表面。