| 摘要 |
1. Микроэлектромеханический гироскоп, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала, первую и вторую идентичные инерционные массы, каждая из которых выполнена в виде прямоугольной пластины из кремния, расположена с зазором относительно платы и связана с ней упругими перемычками, образующими упругий подвес, допускающий колебательные движения каждой из инерционных масс вдоль первой и вдоль второй оси, центральную измерительную прямоугольную рамку, размещённую во внутреннем упругом подвесе, допускающем колебательные движения рамки вдоль второй оси и содержащем упругие перемычки и анкер, расположенный в центре всего устройства, датчик выходного сигнала, электростатический привод настройки, электростатический вибропривод, электростатические емкостные измерители перемещений инерционных масс, блок электроники и анкеры, отличающийся тем, что введены первая и вторая идентичные прямоугольные рамки из кремния, внутри которых на упругих перемычках, допускающих колебательные движения вдоль второй оси, размещены первая и вторая инерционные массы, каждая из прямоугольных рамок связана с корпусом упругими перемычками, допускающими колебательные движения рамок вдоль первой оси; введена наружная центральная рамка, внутри которой размещена центральная измерительная прямоугольная рамка, боковые стороны наружной центральной рамки содержат наружные и внутренние упругие перемычки, наружные перемычки своими центральными частями связаны с первой и второй инерционными массами, а внутренние перемычки своими центральными частями связаны с боковыми сторонами центральной измерительной � |
