硅片转运车

摘要

本实用新型提供了一种硅片转运车，包括车架和设置于车架上的载片车板，车架包括上下布置的上层车架和下层车架，载片车板设置于上层车架上。载片车板上设置有多个贯穿其厚度方向上的多个泄露孔，下层车架上可拆卸的安装有砂浆收集装置。硅片转运车包括上下两层，上层车架设置为放置硅片的载片车板，由载片车板对硅片进行转运。载片车板上设置多个泄露孔，泄露孔沿载片车板的厚度方向设置，在硅片转运时，硅片表面粘连的砂浆落到载片车板上后，可通过泄露孔流出，并通过在下层车架上设置收集砂浆的砂浆收集装置，将泄露的砂浆收集，避免砂浆由硅片转运车的边缘流出，从而避免了对车间对面的污染，且实现了砂浆的回收利用，节约了资源。

主权项

一种硅片转运车，其特征在于，包括车架和设置于所述车架上的载片车板，所述车架包括上下布置的上层车架和下层车架，所述载片车板设置于所述上层车架上；所述载片车板上设置有多个贯穿其厚度方向上的多个泄露孔，所述下层车架上可拆卸的安装有砂浆收集装置。