| 摘要 |
1. Вакуумный плазмотрон для жидких прекурсоров, содержащий последовательно соединенные капилляром: сосуд для прекурсора, нагнетающий насос, обратный клапан, вакуумно-плотный ввод в камеру напыления, керамический пористый наконечник закрепленный на металлическом заземленном держателе, а также вольфрамовый катод, закрепленный на водоохлаждаемых токовводах, источник питания переменного тока накала катода и источник питания постоянного тока отрицательного смещения катода отличающийся тем, что керамический пористый наконечник плазмотрона выполнен в форме цилиндра с двумя цилиндрическими отверстиями с противоположных торцов, не соединяющимися между собой, и покрыт по всей поверхности, исключая внутреннюю поверхность цилиндрических отверстий, защитным слоем, устойчивым к плазме и не проницаемым для паров прекурсора.2. Вакуумный плазмотрон для жидких прекурсоров по п.1, отличающийся тем, что в качестве керамики пористого наконечника выбирается спеченная корундовая керамика с размером зерна 40-100 мкм.3. Вакуумный плазмотрон для жидких прекурсоров по п.1, отличающийся тем, что в качестве устойчивого к плазме и не проницаемого для паров прекурсора защитного слоя выбирается смесь корундового порошка дисперсностью 20-40 мкм с силикатным клеем толщиной 1-2 мм. |
