| 摘要 |
Кассета для отжига и активации ионно-легированных слоев карбидкремниевых пластин, состоящая из графитового основания с полостью под пластину, размеры которой больше, чем размеры пластины, и графитовой крышкой с выступом, совместимым с основанием, и закрывающей рабочую поверхность пластины, отличающаяся тем, что крышка выполнена в виде выемки на дне полости под пластину глубиной h, равной х<h<х+100 мкм, где х - наибольшее значение прогиба рабочей поверхности пластины и с размерами на 2-4 мм меньше размеров пластины, а выступ крышки выполнен с внешней стороны дна основания. |
