一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法，包括以下步骤：1)以预先处理过的石英玻璃为基底，采用旋涂法将二氧化钒前驱液在基底上镀膜，通过控制旋涂转速、旋涂层数，制备不同厚度的凝胶薄膜，其中每层旋涂结束后，干燥；2)预先在空气下热处理凝胶薄膜使PVP分解：热处理温度100℃～300℃、热处理时间2～4h，然后在管式电阻炉中，N₂气氛下热处理制备二氧化钒薄膜：热处理温度500℃～600℃、热处理时间30min～60min。本发明通过控制涂膜工艺、热处理温度制度控制，最终制得二氧化钒薄膜，该方法具有操作简单、生产效率高，膜与基材附着力高的特点。

主权项

一种有机溶胶凝胶制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：1)以预先处理过的石英玻璃为基底，采用旋涂法将二氧化钒前驱液在基底上镀膜，通过控制旋涂转速、旋涂层数，制备不同厚度的凝胶薄膜，其中每层旋涂结束后，在80℃下真空干燥30min；2)预先在空气下热处理凝胶薄膜使PVP分解：热处理温度100℃～300℃、热处理时间2～4h，然后在管式电阻炉中，N₂气氛下热处理制备二氧化钒薄膜：热处理温度500℃～600℃、热处理时间30min～60min。