微机械传感器

摘要

一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器，所述微力学传感器具有一个衬底（5）以及至少一个设置在衬底（5）上并且可以相对于衬底（5）移动的质量块（6）。质量块（6）与衬底（5）和/或两个相向移动的质量块可以借助至少一个弯曲弹簧装置（1）相互连接在一起用于进行相对旋转运动。为了提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性，所述弯曲弹簧装置（1）具有多个优选两个基本相互平行走向的弹簧条（2），以及至少在一个优选在每个弹簧条（2）上具有至少一个曲折段（3）。

主权项

一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器，所述微力学传感器具有一个衬底（5）以及至少一个通过固定装置（4）设置在衬底（5）上并且以围绕固定装置（4）的初始振动平行于衬底（5）移动的质量块（6），其中，质量块（6）与衬底（5）和/或两个相向移动的质量块借助至少一个弯曲弹簧装置（1）相互连接在一起，从而进行相对旋转运动，所述弯曲弹簧装置（1）具有至少两个在固定装置（4）和质量块（6）之间基本相互平行的弹簧条（2），以及在基本垂直于至少两个弹簧条（2）中的每一个的方向上附接的至少一个曲折段（3），因此在质量块与衬底的相对运动期间和/或两个质量块的运动期间，一个曲折段（3）被挤压，而另一个曲折段（3）被拉伸，由此提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性，从而使其保持预设的最大弯曲路径。