发明名称 一种铜铟镓硫硒薄膜材料的制备方法
摘要 本发明公开了一种铜铟镓硫硒薄膜材料的制备方法,包括如下步骤:(1)根据Cu<sub>1~x</sub>In<sub>1~y</sub>Ga<sub>m</sub>Se<sub>2~z</sub>S<sub>n</sub>式中铜、铟、镓的化学计量比,将铜、铟、镓的卤族化合物或硝酸盐溶解于低碳醇中,配置成含铜铟镓的低碳醇溶液;(2)将乙基纤维素缓慢加入步骤(1)制备的铜铟镓的低碳醇溶液中搅拌混合均匀,再加入松油醇的低碳醇溶液,搅拌混合直至溶液变为粘稠液;(3)在非真空条件下将粘稠液刮涂到衬底上于130~160℃烘干10~30分钟,再加热氧化得到铜铟镓氧化物;(4)铜铟镓氧化物在氢氩混合气氛中加热氢化还原形成铜铟镓合金;(5)铜铟镓合金用硫粉硫化后再用硒粉硒化,即得所述铜铟镓硫硒薄膜材料。本发明的能耗少、工艺简单,产品成本低廉。
申请公布号 CN104037248A 申请公布日期 2014.09.10
申请号 CN201410320202.4 申请日期 2014.07.08
申请人 厦门大学 发明人 张风燕;陈文志;陈伟;黄瑄;陈朝;程其进;云大钦;张彬彬;冯嘉
分类号 H01L31/032(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/032(2006.01)I
代理机构 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人 张松亭
主权项 一种铜铟镓硫硒薄膜材料的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)根据Cu<sub>1~x</sub>In<sub>1~y</sub>Ga<sub>m</sub>Se<sub>2~z</sub>S<sub>n</sub>式中铜、铟、镓的化学计量比,将铜、铟、镓的卤族化合物或硝酸盐溶解于低碳醇中,配置成含铜铟镓的低碳醇溶液,式中0≤x≤0.4,0≤y<1,0<m≤1,0≤z<2,0<n≤2;(2)将乙基纤维素缓慢加入步骤(1)制备的铜铟镓的低碳醇溶液中搅拌混合均匀,再加入松油醇的低碳醇溶液,于65~90℃搅拌混合直至溶液变为粘稠液,上述乙基纤维素与松油醇的质量比为1:3~8;(3)在非真空条件下将粘稠液刮涂到衬底上于130~160℃烘干10~30分钟,再加热氧化得到铜铟镓氧化物;该加热氧化的方法为:于5~15分钟升温至140~150℃并保温5~40分钟,再于5~15分钟升温至400~500℃并保温1~3小时后自然冷却;(4)铜铟镓氧化物在氢氩混合气氛中加热氢化还原形成铜铟镓合金,其中氢气与氩气的流量比为1~3:1~12,加热氢化还原的温度为380~470℃,时间为25~70分钟;(5)铜铟镓合金用硫粉硫化后再用硒粉硒化,即得所述铜铟镓硫硒薄膜材料;其中硫和硒均比所述Cu<sub>1~x</sub>In<sub>1~y</sub>Ga<sub>m</sub>Se<sub>2~z</sub>S<sub>n</sub>式中硫和硒的化学计量过量0~900%;上述硫化具体为:硫粉与步骤(4)所制得的铜铟镓合金放置在退火炉中,预先通入氩气15~20分钟,先于8~25分钟至140~160℃并保温8~30分钟,再于8~25分钟到480~520℃并保温25~45分钟后自然冷却;上述硒化具体为:硒粉与硫化后的铜铟镓硫合金放置在退火炉中,预先通入惰性气体氩气15~20分钟,先于8~25分钟至140~160℃并保温8~30分钟,再于8~25分钟至480~520℃并保温5~15分钟后自然冷却。
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