用于浸没式光刻机中的负压环境下的连续气液分离装置

摘要

本发明公开了一种用于浸没式光刻机中的负压环境下的连续气液分离装置。包括装有液位探测元件的气液分离贮存容腔，真空回路和排水回路；真空回路中的气液混合物与气液分离贮存容腔的上部的入口连接，真空压力变送器的入口与气液分离贮存容腔的上部的出口连接，真空压力变送器的出口依次经真空比例阀、开关阀、真空泵和汽水分离器和气体回收点连接，真空压力变送器和真空比例阀与控制器电连接；排水回路中的气液分离贮存容腔底部出口分为两路，一路经流量调节阀和自吸泵的入口连接，另一路与卸载阀的入口连接，自吸泵的出口和卸载阀的出口接液体出水点；本发明能够使气液两相的分离连续不间断的进行，可实现负压环境下的气液两相分离。

主权项

用于浸没式光刻机中的负压环境下的连续气液分离装置，其特征在于：包括装有液位探测元件（7）的气液分离贮存容腔（8），真空回路和排水回路；所述真空回路，包括真空压力变送器（9），控制器（10），真空比例阀（11），开关阀（12），真空泵（13），汽水分离器（14）：气液混合物与气液分离贮存容腔（8）的上部的入口连接，真空压力变送器（9）的入口与气液分离贮存容腔（8）的上部的出口连接，真空压力变送器（9）的出口依次经真空比例阀（11）、开关阀（12）、真空泵（13）和汽水分离器（14）和气体回收点（11）连接，真空压力变送器（9）和真空比例阀（11）与控制器（10）电连接；所述排水回路，包括流量调节阀（16），卸载阀（17），自吸泵（18）；气液分离贮存容腔（8）底部出口分为两路，一路经流量调节阀（16）和自吸泵（18）的入口连接，另一路与卸载阀（17）的入口连接，自吸泵（18）的出口和卸载阀（17）的出口接液体出水点（19）；连续气液分离装置的气液混合物入口（6）与浸没式光刻机中的浸没单元（3）连接。