蓝宝石抛光垫修整器及其制造方法

摘要

本发明提出一种蓝宝石抛光垫修整器及其制造方法，其利用微影蚀刻制程加工一蓝宝石层，于蓝宝石层表面形成多个蓝宝石磨粒，并将成形后的蓝宝石层与蓝宝石磨粒应用于抛光垫整修器的研磨面，而蓝宝石磨粒的外形能透过蚀刻控制成形，无须利用电镀或烧结的方式来结合，因此该些蓝宝石磨粒具有良好均一性，且与底部蓝宝石层为相同材料，无接口间热涨冷缩问题，可避免于抛光制程中造成颗粒脱落的情形，降低晶圆被颗粒刮伤的问题，进而提升修整器的使用寿命与加工良率。

主权项

一种蓝宝石抛光垫修整器，用以修整一抛光垫，其特征在于，其包含：一承载盘；一蓝宝石层，其设于该承载盘上；及多个蓝宝石磨粒，其一体成形设于该蓝宝石层表面。