发明名称 一种X射线衍射测量热解炭涂层残余应力的方法
摘要 本发明公开了一种X射线衍射测量热解炭涂层残余应力的方法。目前还没有利用X射线衍射法测量热解炭残余应力的完整技术。本发明的具体步骤:对实验样品进行常规X射线检测,得到衍射全谱,确定衍射峰的最大衍射角度2<img file="2014102435934100004dest_path_image002.GIF" wi="14" he="16" />;采用X射线衍射仪,设定扫描起始角、扫描终止角、扫描步距、扫描速度和计数时间,选取六个方位角<img file="dest_path_image004.GIF" wi="17" he="18" />,测量出实验样品对应每个方位角<img file="531079dest_path_image004.GIF" wi="17" he="18" />的晶面衍射角2<img file="dest_path_image006.GIF" wi="21" he="24" />,计算每个方位角<img file="385902dest_path_image004.GIF" wi="17" he="18" />对应的<img file="dest_path_image008.GIF" wi="46" he="24" />,绘制<img file="dest_path_image010.GIF" wi="29" he="24" />—<img file="103322dest_path_image008.GIF" wi="46" he="24" />离散图,并根据各离散点拟合得到直线斜率<img file="dest_path_image012.GIF" wi="64" he="48" />;计算残余应力值<img file="dest_path_image014.GIF" wi="232" he="48" />,式中:<img file="dest_path_image016.GIF" wi="21" he="26" />为实验样品的弹性模量,<img file="dest_path_image018.GIF" wi="14" he="16" />为实验样品的泊松比;<img file="dest_path_image020.GIF" wi="16" he="24" />为实验样品无应力时的半晶面衍射角。本发明在不破坏涂层的前提下,更简便、准确地得到热解炭涂层的残余应力值。
申请公布号 CN104034744A 申请公布日期 2014.09.10
申请号 CN201410243593.4 申请日期 2014.06.03
申请人 杭州电子科技大学 发明人 张建辉;喻主路;杨欢;郑艳真;李威龙
分类号 G01N23/20(2006.01)I 主分类号 G01N23/20(2006.01)I
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人 杜军
主权项 一种X射线衍射测量热解炭涂层残余应力的方法,其特征在于:该方法的具体步骤如下:步骤1、对实验样品进行常规X射线检测,得到衍射全谱,确定衍射峰的最大衍射角度2θ;步骤2、采用X射线衍射仪,设定扫描起始角为2θ‑2°,扫描终止角为2θ+2°,扫描步距为0.02°,扫描速度为1°/min,计数时间为4.00s,方位角ψ分别选取0°、10°、20°、30°、40°和50°,测量出实验样品对应每个方位角ψ的2θ<sub>ψ</sub>值,其中,2θ<sub>ψ</sub>为实验样品的晶面衍射角;步骤3、根据六个方位角ψ,分别计算每个方位角ψ对应的sin<sup>2</sup>ψ,绘制2θ<sub>ψ</sub>—sin<sup>2</sup>ψ离散图,并根据各离散点拟合得到直线斜率<img file="FDA0000515274420000011.GIF" wi="235" he="146" />步骤4、计算残余应力值<img file="FDA0000515274420000012.GIF" wi="748" he="152" />式中:E为实验样品的弹性模量,ν为实验样品的泊松比;θ<sub>0</sub>为实验样品无应力时的半晶面衍射角,θ<sub>0</sub>=θ。
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