| 摘要 |
Винахід належить до техніки одержання газових сумішей необхідного складу і може бути використаний, зокрема, у іонно-плазмових технологіях одержання різних покрить, а також для одержання еталонних сумішей газів при метрологічному забезпеченні виробничих процесів. Спосіб підготовки суміші газів заданого відсоткового складу включає послідовну подачу порцій газу в попередньо відкачану змішувальну камеру і задавання відсоткового вмісту газу в суміші. Згідно з винаходом, порції газів послідовно подають в змішувальну камеру в будь-якому порядку. Перед подачею порції кожного газу проводять перевірку відповідної першої умови, де враховують зміни тиску в змішувальній камері після подачі в неї порції відповідного газу, парціальний тиск відповідного газу в суміші газів, який визначається заданим процентним складом суміші, та допуск на відхилення відсоткового вмісту відповідного газу в суміші від заданого. Потім при виконанні першої умови здійснюють подачу чергової порції газу і перевіряють другу відповідну умову. Подачу порцій кожного газу проводять до тих пір, поки не будуть виконані обидві умови для кожного газу, що відповідає досягненню заданого відсоткового складу газової суміші. Спосіб забезпечує спрощення процесу підготовки сумішей газів при одночасному забезпеченні високої точності заданого співвідношення компонентів у суміші. |
