| 发明名称 | 一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本实用新型具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。 | ||
| 申请公布号 | CN203820886U | 申请公布日期 | 2014.09.10 |
| 申请号 | CN201420122589.8 | 申请日期 | 2014.03.18 |
| 申请人 | 华南理工大学 | 发明人 | 汤勇;黄云翔;杨晓军;曾海峰;钟福回;孙超卫 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人 | 付茵茵;杨晓松 |
| 主权项 | 一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：包括：‑将柔性的衬底平铺输送的输送机构，‑进行沉积反应的沉积箱，‑与沉积箱相接的溶液加热循环机构，‑洗刷衬底的滚筒洗刷机构，‑烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。 | ||
| 地址 | 510640 广东省广州市天河区五山路381号 | ||