二氧化硅粉、二氧化硅容器及该粉或容器的制造方法

摘要

本发明是一种二氧化硅容器的制造方法，该二氧化硅容器具备：基体，其具有旋转对称性，以二氧化硅作为主成分，且至少在外周部分含有气泡；以及内层，其被形成在该基体的内表面上，并由透明二氧化硅玻璃所构成；其中，所述二氧化硅容器的制造方法，至少准备二氧化硅粉来作为用以形成前述内层的原料粉，并利用该内层形成用原料粉即二氧化硅粉来形成前述内层，该二氧化硅粉，其粒径为10～1000μm，含有合计浓度为50～5000重量ppm(wt.ppm)的Ca、Sr、Ba，且在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×10¹⁶～3×10¹⁹分子/g。由此，提供一种二氧化硅容器及其制造方法，该二氧化硅容器是高尺寸精确度，且该二氧化硅容器的内壁是实质上不含气泡且厚度大的透明二氧化硅玻璃层，而在高温下也具有高度耐久性，并能以低成本来制造；以及提供一种用以制造这样的二氧化硅容器的二氧化硅粉及其制造方法。

主权项

一种二氧化硅粉，是二氧化硅容器制造用的二氧化硅粉，其特征在于，粒径为10～1000μm，含有合计浓度为50～5000重量ppm的Ca、Sr、Ba，并且，含有浓度为10～100重量ppm的Al，并且，在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×10¹⁶～3×10¹⁹分子／g。