Probenhalter für Elektronenmikroskop

摘要

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung eines Probenhalters für ein Elektronenmikroskop, an dem mehrere Probenhalteelemente angebracht werden können, von denen wenigstens ein Probenhalteelement beweglich ist, und mit dem mehrere Proben für ein Transmissionselektronenmikroskop an einer Vorrichtung mit einem fokussierten Ionenstrahl bearbeitet werden können. An der Spitze des Probenhalters ist eine Halterspitzenöffnung vorgesehen. Am hinteren Ende des Probenhalters (1) befinden sich ein Knopf, ein Drehmechanismus, ein Grobeinstellmechanismus und ein Verbinder. Durch Druck auf den Knopf wird die Sperre des Drehmechanismus (6) aufgehoben, und das hintere Ende des Drehmechanismus (6) und die Spitze des Probenhalters können sich drehen. Mit diesem Drehmechanismus kann die Anordnung der Proben sowohl bei der Betrachtung der Proben mit einem Transmissionselektronenmikroskop als auch bei der Bearbeitung der Proben für ein Transmissionselektronenmikroskop an der Vorrichtung mit einem fokussierten Ionenstrahl gedreht werden. Das Probenhalteelement kann mit dem Grobeinstellmechanismus und dem Feineinstellmechanismus bewegt werden.