Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Polysilizium. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Schmelzen während des Wachstums des Siliziumstabs verhindert werden und ein polykristalliner Siliziumstab mit einem größeren Durchmesser kann bei einem minimalen Energieverbrauch schnell hergestellt werden.
