从衬底去除物质的方法和组合物

摘要

描述可用于从衬底，例如光致抗蚀剂晶圆去除有机和有机金属物质的组合物。方法呈现为将最小体积的组合物以涂层形式施加于无机衬底，其中施加充分的热量，以及通过冲洗完全去除有机或有机金属物质。该组合物和方法可适用于从电子设备去除，以及在一些情况下，完全溶解正性和负性类型的光致抗蚀剂，和特别是负性干燥膜光致抗蚀剂。

主权项

一种组合物，其包含：a) 约20 wt%至约90 wt%的并非二甲基亚砜的极性非质子溶剂；b) 约1 wt%至约70 wt%的至少一种烷醇胺；c) 低于约3 wt%的氢氧化季铵；和d) 水。