| 发明名称 | 用于含金属膜的第4族金属前体 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于含金属膜的第4族金属前体，特别是由以下通式表示的第4族金属前体：M(OR<sup>1</sup>)<sub>2</sub>(R<sup>2</sup>C(O)C(R<sup>3</sup>)C(O)OR<sup>1</sup>)<sub>2</sub>，其中M是第4族金属Ti、Zr或Hf；其中R<sup>1</sup>选自下组：直链或支链C<sub>1-10</sub>烷基和C<sub>6-12</sub>芳基，优选甲基、乙基或正丙基；R<sup>2</sup>选自下组：支链C<sub>3-10</sub>烷基，优选异丙基、叔丁基、仲丁基、异丁基或叔戊基，和C<sub>6-12</sub>芳基；R<sup>3</sup>选自下组：氢、C<sub>1-10</sub>烷基和C<sub>6-12</sub>芳基，优选氢。在本发明的优选实施方式中，该前体是液体或者熔点低于60℃的固体。 | ||
| 申请公布号 | CN102040620B | 申请公布日期 | 2014.09.03 |
| 申请号 | CN201010521551.4 | 申请日期 | 2010.10.25 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | S·V·埃瓦诺夫;X·雷;H·程;D·P·斯佩斯;金武性 |
| 分类号 | C07F7/28(2006.01)I;C07F7/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C07F7/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 陈文平;尚继栋 |
| 主权项 | 由以下通式表示的第4族金属前体：<img file="FSB0000127103580000011.GIF" wi="876" he="593" />其中M是第4族金属，选自下组：Ti、Zr和Hf；其中R<sup>1</sup>选自下组：直链或支链C<sub>1‑10</sub>烷基；R<sup>2</sup>选自下组：支链C<sub>3‑10</sub>烷基；R<sup>3</sup>选自下组：氢和C<sub>1‑10</sub>烷基。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||