发光元件的制造方法，使用发光元件的有机显示面板、有机发光装置及有机显示装置

摘要

在基底层上形成中间层之后，在所述中间层上形成具有感光性树脂材料的树脂材料层。然后，将所述树脂材料层选择性曝光后，使用溶解所述树脂材料层以及所述中间层这二者的显影液进行显影处理。由此，(a)除去所述树脂材料层的非固化部分而形成贯穿所述树脂材料层通到所述中间层的开口，(b)使所述显影液的一部分通过所述开口浸入到所述中间层侧，将所述中间层中的与所述开口对应的第1区域及作为其周边的第2区域的至少表面部除去。通过由加热使所述树脂材料层的相当于所述第2区域的悬空部分软化而垂向下方，从而覆盖在所述空间露出的所述中间层的端部，并填埋所述树脂材料层下方的空间。由此，使所述悬空部分与所述基底层或所述中间层上接触而形成由所述树脂材料层构成的隔壁。

主权项

一种发光元件的制造方法，包括：第1工序，在基板的上方形成包含第1电极的基底层；第2工序，在所述基底层上形成中间层；第3工序，在所述中间层上形成具有感光性树脂材料的树脂材料层；第4工序，在将所述树脂材料层选择性曝光后，使用溶解所述树脂材料层及所述中间层这二者的显影液进行显影处理，由此（a）除去所述树脂材料层的非固化部分而形成贯穿所述树脂材料层通到所述中间层的开口，（b）使所述显影液的一部分通过所述开口浸入到所述中间层侧，将所述中间层中的与所述开口对应的第1区域及作为其周边的第2区域的至少表面部除去；第5工序，通过对在所述第4工序后残留的树脂材料层加热，使所述树脂材料层的相当于所述第2区域的悬空部分软化而垂向下方，从而覆盖在由于所述第2区域的至少表面部被除去而产生的所述树脂材料层下方的空间露出的所述中间层的端部，并填埋所述树脂材料层下方的空间，由此使所述树脂材料层的相当于所述第2区域悬空部分与所述基底层或所述中间层上接触而形成由所述树脂材料层构成的隔壁；第6工序，在所述第5工序之后，在多个所述隔壁之间形成包括有机发光层的功能层；和第7工序，在所述功能层的上方形成第2电极。