发明名称
摘要 A graphene wiring has a substrate, a catalyst layer on the substrate, a graphene layer on the catalyst layer, and a dopant layer on a side surface of the graphene layer. An atomic or molecular species is intercalated in the graphene layer or disposed on the graphene layer.
申请公布号 JP5583236(B1) 申请公布日期 2014.09.03
申请号 JP20130057004 申请日期 2013.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;C01B31/02;C23C16/26;H01B5/14;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/532 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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