发明名称 |
透明钛酸锶钡基薄膜压控变容管及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种透明钛酸锶钡基薄膜压控变容管及其制备方法,化学式为Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1-x</sub>TiO<sub>3</sub>,其中x﹦0.5~0.7;首先采用固相烧结法于1350~1500℃烧制Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1-x</sub>TiO<sub>3</sub>靶材,利用磁控溅射沉积技术,使用Ar和O<sub>2</sub>作为溅射气体,沉积得到Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1-x</sub>TiO<sub>3</sub>,其中x﹦0.5~0.7的薄膜;再于氧气气氛中进行后退火处理,再于薄膜上面制备金属电极,制得透明钛酸锶钡基薄膜压控变容管。本发明透明性高,调谐率适中,器件稳定性好,且工艺简单,电极性能优良,成本低廉,适合工业化生产,为透明通讯和显示设备的开发和应用提供了优良的元器件基础。 |
申请公布号 |
CN104021938A |
申请公布日期 |
2014.09.03 |
申请号 |
CN201410242547.2 |
申请日期 |
2014.05.30 |
申请人 |
天津大学 |
发明人 |
李玲霞;于仕辉;董和磊;许丹;金雨馨 |
分类号 |
H01G7/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01G7/06(2006.01)I |
代理机构 |
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
代理人 |
张宏祥 |
主权项 |
一种透明钛酸锶钡基薄膜压控变容管,化学式为Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1‑x</sub>TiO<sub>3</sub>,其中x﹦0.5~0.7;该透明钛酸锶钡基薄膜压控变容管的制备方法,具体步骤如下:(1)采用固相烧结法制备Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1‑x</sub>TiO<sub>3</sub>靶材,其中x﹦0.5~0.7;按照Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1‑x</sub>TiO<sub>3</sub>对应元素的化学计量比称取原料BaTiO<sub>3</sub>和SrTO<sub>3</sub>,充分混合后压制成型,置于电炉中于1350~1500℃烧制Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1‑x</sub>TiO<sub>3</sub>靶材;(2)将清洁干燥的氧化铟锡即ITO玻璃衬底放入磁控溅射样品台上;(3)将磁控溅射系统的本底真空度抽至5.0×10<sup>‑7</sup>~7.0×10<sup>‑6</sup>Torr,然后加热ITO玻璃衬底至400~700℃;(4)在步骤(3)系统中,使用Ar和O<sub>2</sub>作为溅射气体,溅射功率为50~200W,进行沉积得到Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1‑x</sub>TiO<sub>3</sub>,其中x﹦0.5~0.7的薄膜;薄膜厚度为150~500nm;(5)步骤(3)的ITO玻璃衬底温度降至100℃以下时,取出制品,在氧气气氛炉中进行后退火处理;(6)步骤(5)退火处理后的Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1‑x</sub>TiO<sub>3</sub>,其中x﹦0.5~0.7的薄膜上面利用掩膜版制备金属电极,制得透明钛酸锶钡基薄膜压控变容管。 |
地址 |
300072 天津市南开区卫津路92号 |