| 发明名称 | 形状检查方法及其装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种三维形状检查方法及其装置，通过互补地组合多种三维形状计测法、表面计测方法，不受测定对象的形状影响地确保高的计测精度。本发明提供一种三维形状检查装置，其特征在于，具备：取得检查对象的第一形状数据的第一三维形状传感器；取得上述检查对象的与上述第一形状数据不同的第二形状数据的第二三维形状传感器；和对上述第一形状数据和上述第二形状数据进行校正、整合的互补整合部。 | ||
| 申请公布号 | CN104024793A | 申请公布日期 | 2014.09.03 |
| 申请号 | CN201280052260.2 | 申请日期 | 2012.10.24 |
| 申请人 | 株式会社日立制作所 | 发明人 | 谷口敦史;酒井薰;丸山重信;前田俊二 |
| 分类号 | G01B21/20(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种三维形状检查装置，其特征在于，具备：取得检查对象的第一形状数据的第一三维形状传感器；取得所述检查对象的与所述第一形状数据不同的第二形状数据的第二三维形状传感器；和对所述第一形状数据和所述第二形状数据进行校正、整合的互补整合部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||