热驱动MEMS微镜及1×N热驱动MEMS微镜阵列

摘要

本发明公开了一种热驱动MEMS微镜及1×N热驱动MEMS微镜阵列，热驱动MEMS微镜由镜面、微镜镜框以及连接镜面和微镜镜框的电热驱动臂组成，所述微镜镜框成对的设置于镜面的相对两侧，通过在所述电热驱动臂上施加偏置电压使微镜镜面旋转。阵列包括N个热驱动微镜单元和设有空腔的衬底；所述微镜镜框成对的设置于镜面的相对两侧并固定于衬底空腔上，通过在所述电热驱动臂上施加偏置电压使对应微镜镜面旋转；所述N个热驱动微镜单元之间以相等间隙地排列形成1×N微镜阵列。本发明每个微镜用两侧电热驱动臂单独控制，可以调整驱动臂的长度实现不同角度量程的设计，且阵列具备低电压驱动、高镜面填充率、大量程设计，可以有效降低热串扰。

主权项

1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：包括N个热驱动微镜单元和设有空腔的衬底，其中N为一个大于1的整数；所述每个热驱动微镜单元由镜面、微镜镜框以及连接镜面和微镜镜框的电热驱动臂组成，其中所述微镜镜框成对的设置于镜面的相对两侧并固定于衬底空腔上，通过在所述电热驱动臂上施加偏置电压使对应微镜镜面旋转；所述N个热驱动微镜单元之间以相等间隙地排列形成1×N微镜阵列。